[发明专利]薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法在审
| 申请号： | 201810468489.3 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN110079761A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 张东晖 | 申请（专利权）人： | 张东晖 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法，先备制一模具，该模具具有以不导电材质所制成的基材，以及该基材表面所设置的导电膜，该基材的膨胀系数小于导电膜的膨胀系数，并在该导电膜上设置有具有缺口的图形部，然后将模具以电铸制程，让金属以导电膜为背景沉积于导电膜表面形成蒸镀用的遮罩，以提高遮罩尺寸精度，且遮罩的开口处不会产生遮蔽影响区。 | ||
| 搜索关键词： | 遮罩 导电膜 模具 金属蒸镀 膨胀系数 薄型化 基材 导电膜表面 基材表面 不导电 开口处 图形部 影响区 遮蔽 沉积 电铸 蒸镀 制程 制造 金属 | ||
【主权项】：
1.一种薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法，其特征是先备制一模具，该模具具有以不导电材质所制成的基材，以及该基材表面所设置的导电膜，该基材的膨胀系数小于导电膜的膨胀系数，并在该导电膜上设置有具有缺口的图形部，然后将模具以电铸制程(electrotyping)，让金属以导电膜为背景沉积于导电膜表面形成蒸镀用的遮罩。
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