[发明专利]一种清洗装置及其应用和清洗方法在审
| 申请号： | 201810468726.6 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108579186A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李嘉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D35/16 | 分类号： | B01D35/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种清洗装置，用于清洗刻蚀设备的过滤器，包括储液槽、进液管、出液管和循环泵，储液槽用于储存清洗液，设置有第一开口和第二开口；进液管一端连接于所述第一开口，另一端用于与所述过滤器的进液口连接；出液管一端连接于所述第二开口，另一端用于与所述过滤器的出液口连接；循环泵设置于所述进液管和/或所述出液管上，以使所述清洗液在所述储液槽和所述过滤器之间循环流动。本发明提供的清洗装置对刻蚀设备中的过滤器进行清洗，提高过滤器的使用寿命，同时减少过滤器的更换，节省成本和时间。本发明还提供了该清洗装置的应用和清洗方法。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 清洗装置 清洗 出液管 储液槽 进液管 开口 刻蚀设备 一端连接 清洗液 循环泵 使用寿命 循环流动 出液口 进液口 应用 储存 | ||
【主权项】：
1.一种清洗装置，用于清洗刻蚀设备的过滤器，其特征在于，包括：储液槽，用于储存清洗液，设置有第一开口和第二开口；进液管，一端连接于所述第一开口，另一端用于与所述过滤器的进液口连接；出液管，一端连接于所述第二开口，另一端用于与所述过滤器的出液口连接；循环泵，设置于所述进液管和/或所述出液管上，以使所述清洗液在所述储液槽和所述过滤器之间循环流动。
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