[发明专利]液体过滤器润湿方法有效
| 申请号： | 201810470203.5 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108854556B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 姜浩英;安东·德维利耶;科里·莱姆利 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B01D63/06 | 分类号： | B01D63/06;B01D63/10;B01D63/14;B01D65/00;B01D65/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;苏虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种润湿用于处理半导体制造中使用的液体溶剂的筒式过滤器的方法。在该方法中，将具有空隙空间的筒式过滤器连接至吹扫气体源，其中空隙空间包含来自用于制造筒式过滤器的制造工艺的残留气体。使吹扫气体流过筒式过滤器以至少部分地置换来自用于制造筒式过滤器的制造工艺的残留气体的至少一部分。接着，将液体溶剂泵送通过筒式过滤器，使得吹扫气体溶解到液体溶剂中并且至少部分地填充空隙空间，从而用液体溶剂至少部分地润湿筒式过滤器。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 过滤器 润湿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种润湿用于处理在半导体制造中使用的液体溶剂的筒式过滤器的方法，包括：提供具有空隙空间的筒式过滤器，其中所述空隙空间包含来自用于制造所述筒式过滤器的制造工艺的残留气体；使吹扫气体流过所述筒式过滤器以至少部分地置换来自用于制造所述筒式过滤器的制造工艺的所述残留气体的至少一部分；将所述液体溶剂泵送通过所述筒式过滤器，使得所述吹扫气体溶解到所述液体溶剂中，以及至少部分地填充所述空隙空间。
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