[发明专利]射频电源的脉冲调制系统及方法有效
| 申请号： | 201810474665.4 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110504149B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 韦刚;卫晶;杨京 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 王思超 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脉冲调制射频电源系统，包括：调制输出模块和频率调节模块；所述调制输出模块，用于输出脉冲调制射频信号，所述脉冲调制射频信号的每个脉冲周期包括脉冲开启阶段和脉冲关闭阶段，在所述脉冲开启阶段的初始时间段设置有过冲子阶段；所述频率调节模块，与所述调制输出模块相连，用于调节所述过冲子阶段的脉冲调制射频信号的射频频率，以使过冲子阶段的反射功率或反射系数满足要求。本发明还提供反应腔室。不仅容易实现点火成功，而且降低了射频系统的设计要求和降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 电源 脉冲调制 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种射频电源的脉冲调制系统，其特征在于，包括：调制输出模块和频率调节模块；/n所述调制输出模块，用于输出脉冲调制射频信号，所述脉冲调制射频信号的每个脉冲周期包括脉冲开启阶段和脉冲关闭阶段，在所述脉冲开启阶段的初始时间段设置有过冲子阶段；/n所述频率调节模块，与所述调制输出模块相连，用于调节所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的射频频率，以使所述过冲子阶段的反射功率或反射系数满足要求。/n
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