[发明专利]一种适用于化学气相淀积过程中的基座

摘要

本发明公开了一种适用于化学气相淀积过程中的基座，包括基板，基板的上端面通过滚压装置开设有若干第一凹槽，滚压装置包括压辊，压辊侧壁上开设有通孔，压辊一端固定连接有底板，底板内壁开设有环形滑道，环形滑道内滑动连接有两个滑条，两个滑条远离底板一端面固定连接有同一个弹性气囊的一端，弹性气囊内部滑动有活塞，活塞一端面固定连接有连接杆，连接杆的另一端依次贯穿弹性气囊的顶壁、压辊的顶壁到达外部并固定连接有推板，弹性气囊的侧壁贯通固接有输气管道，输气管道的另一端固定连接有弹性密封头。本发明制作出的质量统一的基板，可以实现在基板上进行有效率的热传导，可以防止电弧发生，且能防止工艺中基板损伤，具有较强的实用性。

主权项

1.一种适用于化学气相淀积过程中的基座，包括基板（1），其特征在于：所述基板（1）的下表面开设有第二凹槽（6），所述第二凹槽（6）为不规则形状，所述第二凹槽（6）内部铺设有导热线（4），所述基板（1）下端面匹配设有基板覆盖层（2），所述基板覆盖层（2）中部贯穿固接有轴杆（3）；所述基板（1）的上端面通过滚压装置开设有若干第一凹槽（5），所述滚压装置包括压辊（7），所述压辊（7）内部中空，所述压辊（7）侧壁上开设有若干通孔（8），所述压辊（7）一端固定连接有底板（9），所述底板（9）内壁开设有环形滑道（10），所述环形滑道（10）内滑动连接有两个滑条（11），两个所述滑条（11）远离底板（9）一端面固定连接有同一个弹性气囊（12）的一端，所述弹性气囊（12）内部滑动有活塞（13），所述活塞（13）一端面固定连接有连接杆（14），所述连接杆（14）的另一端依次贯穿弹性气囊（12）的顶壁、压辊（7）的顶壁到达外部并固定连接有推板（15），所述弹性气囊（12）的侧壁贯通固接有输气管道（18）的一端，所述输气管道（18）的另一端贯穿通孔（8）到达压辊（7）外部并固定连接有弹性密封头（19）。