[发明专利]金属膜蚀刻液组合物及利用其的导电图案形成方法有效
| 申请号： | 201810481387.5 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108930037B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 沈庆辅;金范洙;尹暎晋 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/30;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属膜蚀刻液组合物及利用其的导电图案形成方法，上述金属膜蚀刻液组合物相对于组合物总重量包含有机氧化剂35～70重量％、含有无机酸的蚀刻增强剂1～10重量％、以及余量的水。通过使用金属膜蚀刻液组合物，可以形成蚀刻不良减少了的导电图案。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 蚀刻 组合 利用 导电 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属膜蚀刻液组合物，在组合物总重量中，包含：有机氧化剂35～70重量％；含有无机酸的蚀刻增强剂1～10重量％；以及余量的水。
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