[发明专利]新型位移传感器及其测量方法在审
| 申请号： | 201810481651.5 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108444397A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 张白 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 林辉轮;张玲 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种新型位移传感器及其测量方法，该新型位移传感器包括：反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；分光镜组一，包括分光镜一和反光镜二，且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的第二反射面反射的激光束入射至分光镜一，一部分激光束先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一，另一部分激光束经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一。本发明位移传感器，通过反射镜一和分光镜组一的设置，可以提高位移传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 反射镜 分光镜 反射 入射 新型位移传感器 反光镜 反射面 三角波 光电探测器 位移传感器 分光镜组 测量 测量过程 夹角设置 同一路径 透射 | ||
【主权项】：
1.一种新型位移传感器，其特征在于，包括：三角波反射镜，包括第一反射面和第二反射面；激光束一，入射至三角波反射镜的第一反射面；反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；分光镜组一，包括分光镜一和反光镜二，且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的第二反射面反射的激光束入射至分光镜一，一部分激光束先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一，另一部分激光束经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一；两个所述光电探测器一，用于接收经分光镜组一透射或反射的激光束一，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方民族大学，未经北方民族大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810481651.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
