[发明专利]硬掩模用组合物及图案形成方法有效
| 申请号： | 201810482174.4 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN109143782B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;金烔永;李殷相;崔汉永;崔相俊 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司;崔相俊 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供硬掩模用组合物及图案形成方法，所述硬掩模用组合物包含：具有来源于碳原子数6～40的芳香族化合物的芳香族单元与来源于含有脂肪族不饱和基团的缩醛化合物的脂肪族不饱和单元结合而成的重复单元的聚合物、及溶剂。通过使用硬掩模用组合物，能够形成耐热性、耐蚀刻性、涂布性同时提高了的硬掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 硬掩模用 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硬掩模用组合物，其包含：具有来源于碳原子数6～40的芳香族化合物的芳香族单元与来源于含有脂肪族不饱和基团的缩醛化合物的脂肪族不饱和单元结合而成的重复单元的聚合物；及溶剂。
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