[发明专利]离子通道路径系统的校正检测方法有效
| 申请号： | 201810483319.2 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108732638B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 汪政明;张凌越;徐继六;刘勰 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/20 | 分类号： | G01V8/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种离子通道路径系统的校正检测方法，所述离子通道路径系统的校正检测方法包括：从离子通道路径系统的一端的多个设置点发射激光，在所述离子通道路径系统的另一端的多个对应点处检测所述激光，若检测到所述激光被接收，则离子通道路径系统校正成功，若检测到所述激光未被接收，则离子通道路径系统校正失败。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 通道 路径 系统 校正 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子通道路径系统的校正检测方法，其特征在于，所述离子通道路径系统的校正检测方法包括：从离子通道路径系统的一端的多个设置点发射激光，在所述离子通道路径系统的另一端的多个对应点处检测所述激光，若检测到所述激光被接收，则离子通道路径系统校正成功，若检测到所述激光未被接收，则离子通道路径系统校正失败。
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