[发明专利]一种柔性太阳能电池前板的制备方法在审
| 申请号： | 201810487495.3 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108766865A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 徐强;任晓艳;白安琪;王雪戈 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L31/049 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 董天宝;于宝庆 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性太阳能电池前板的制备方法，包括：提供第一表层；对所述第一表层进行等离子体清洗；向清洗后的第一表层沉积无机薄膜层；提供第二表层并层压于第一表层之上。该方法采用等离子体清洗法对太阳能电池前板中改性前的聚酯材料层进行清洗，大大简化了现有技术中制作柔性太阳能电池前板的工艺，从而降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性太阳能电池 前板 等离子体清洗 制备 清洗 太阳能电池前板 聚酯材料层 无机薄膜层 表层沉积 层压 改性 制作 | ||
【主权项】：
1.一种柔性太阳能电池前板的制备方法，包括：提供第一表层；对所述第一表层进行等离子体清洗；向清洗后的第一表层沉积无机薄膜层，得到改性后的第一表层；提供第二表层；及将第二表层层压于第一表层之上。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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