[发明专利]一种靶材、靶材制备方法及装置在审
| 申请号： | 201810489753.1 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108425096A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 王云能 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 毛宏宝 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种靶材、靶材制备方法及装置。该靶材包括：背衬管；形成于背衬管的外表面的靶材体；其中，靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度，延长靶材在使用过程中的消耗时长，从而防止靶材体两端先耗光，提高靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 端段 制备方法及装置 背衬管 中间段 时长 消耗 | ||
【主权项】：
1.一种靶材，其特征在于，包括：背衬管；形成于所述背衬管的外表面的靶材体；其中，所述靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。
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