[发明专利]一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置

摘要

本发明涉提供了一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置，包括腔室，腔室侧壁开设有基板出入孔，腔室底部开设有排出口，腔室顶部固定连接有气体喷射装置，气体喷射装置正下方设有静电卡盘，静电卡盘包括固定底座，固定底座中部贯通开设有结合孔，结合孔内部插设有电极棒，电极棒包括绝缘辅材和金属电极，金属电极电气连接有电源；金属电极侧面与水平面通过斜切面相连接，水平面与斜切面、斜切面与侧面之间形成的夹角为钝角，侧面和金属电极中心轴之间的距离由上至下逐渐增大，金属电极下部形成凸缘部。本发明结构简单，很好的解决了现有技术中金属电极上部的棱角部分电子密度大幅增加，会发生电弧现象对基板产生损伤的缺点。

主权项

1.一种防止静电卡盘和基板受到损伤的基板处理装置，包括腔室（1），其特征在于:腔室（1）侧壁开设有基板出入孔（2），所述腔室（1）底部开设有排出口（3），所述腔室（1）顶部固定连接有气体喷射装置（9），所述气体喷射装置（9）正下方设有静电卡盘（4），所述静电卡盘（4）包括固定底座（401）、绝缘层（402）、导电层（403）、电介质层（404）和电极棒（5），所述固定底座（401）中部贯通开设有结合孔（8），所述结合孔（8）内部插设有电极棒（5），所述电极棒（5）包括绝缘辅材（501）和金属电极（502），所述金属电极（502）电气连接有电源（7）；所述金属电极（502）包括斜切面（504）、水平面（505）和侧面（506），所述侧面（506）为闭曲面，所述侧面（506）与水平面（505）通过斜切面（504）相连接，所述水平面（505）与斜切面（504）、斜切面（504）与侧面（506）之间形成的夹角为钝角，所述侧面（506）和金属电极（502）中心轴之间的距离由上至下逐渐增大，所述金属电极（502）下部形成凸缘部（503）；所述金属电极（502）与绝缘辅材（501）通过粘结剂固定连接；所述固定底座（401）上端面固定连接有绝缘层（402），所述电极棒（5）的一端贯穿连接绝缘层（402），所述绝缘层（402）的上端面与电极棒（5）的上端面位于同一水平面，所述绝缘层（402）上端面固定连接有导电层（403），所述导电层（403）与金属电极（502）电气连接，所述导电层（403）上端面固定连接有电介质层（404），所述电介质层（404）上端面设有基板（6）。