[发明专利]一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路在审
| 申请号： | 201810493334.5 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108533961A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王海飞;李昱 | 申请（专利权）人： | 四川大学锦城学院 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D3/01 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，包括气源，以及供气管路，其数量有两路，两路供气管路均连接气源，两路供气管路后端汇集成一路作为供气端，第一供气管路包括有依次连接的第一截止阀和第一调压阀，第二供气管路包括有依次连接的第二截止阀和第二调压阀；供气管路后端连接有出口阀。本发明的有益效果是，原本单路供应的系统可以在机台用量大的时候改为双路供应，减小单侧供应管路的流量，防止节流效应引起调压阀的结露或者结霜。 | ||
| 搜索关键词： | 供气管路 调压阀 供应管路 结霜 两路 依次连接 截止阀 高纯 气源 机台 出口阀 单路 减小 节流 结露 双路 供气 | ||
【主权项】：
1.一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，包括：气源（1），以及供气管路（19），其数量有两路，两路供气管路（19）均连接气源，两路供气管路（19）后端汇集成一路作为供气端，第一供气管路包括有依次连接的第一截止阀（4）和第一调压阀（8），第二供气管路包括有依次连接的第二截止阀（18）和第二调压阀（17）；供气管路（19）后端连接有出口阀（10，14）；其特征在于，单路和/或两路供气管路（19）的出口阀（10，14）前端装有流量监测器（9，13）。
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