[发明专利]一种光学真空镀膜机内腔清洁方法在审
| 申请号： | 201810495558.X | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108517494A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 柳一民;王静辉 | 申请（专利权）人： | 桑尼光电技术（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23G1/02;B08B1/00 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 黄晶晶 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市雨山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，涉及光学元件真空镀膜领域，清洁方法如下：用钢丝刷清除光学真空镀膜机内腔及夹具上的残留镀膜，使用腐蚀剂对光学真空镀膜机内腔及夹具冲刷30‑40min，持续用去离子水一次冲洗10‑20min后，在去离子水中通入惰性气体，升温后继续二次冲洗40‑50min，将夹具放入超声波机器中，升温后震荡清洗10‑20min，待光学真空镀膜机内腔及夹具通过流动的热风蒸发干燥后重新安装回系统内，结束清洗工作，本发明通过物理方法与化学方法的双重结合，实现对光学真空镀膜机内腔及其夹具上残留镀膜的充分清除，提高光学真空镀膜机的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 光学真空镀膜机 夹具 内腔 镀膜 清洁 残留 超声波机器 惰性气体 光学元件 去离子水 使用寿命 双重结合 一次冲洗 真空镀膜 震荡清洗 蒸发干燥 重新安装 腐蚀剂 钢丝刷 放入 热风 水中 冲刷 冲洗 离子 清洗 流动 | ||
【主权项】：
1.一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)用钢丝刷清除光学真空镀膜机内腔及夹具上的残留镀膜；(2)使用腐蚀剂对光学真空镀膜机内腔及夹具冲刷30‑40min；(3)持续用去离子水一次冲洗10‑20min后，在去离子水中通入惰性气体，升温后继续二次冲洗40‑50min；(4)将夹具放入超声波机器中，升温后震荡清洗10‑20min；(5)待光学真空镀膜机内腔及夹具通过流动的热风蒸发干燥后重新安装回系统内，结束清洗工作。
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