[发明专利]一种多功能高效倒片机

摘要

本发明公开了一种多功能高效倒片机，包括机架、片盒平台、执行器、升降运动直线模组、左右运动直线模组、前后运动直线模组和控制模块；控制模块用于控制升降运动直线模组、左右运动直线模组和前后运动直线模组运动；前后运动直线模组以及左右运动直线模组分别与机架相固定连接；升降运动直线模组与前后运动直线模组相固定连接；片盒平台与左右运动直线模组相固定连接；片盒平台上沿左右运动直线模组运动方向设有两个供片盒定位的工位；还包括用于检测晶圆片是否突出片盒的突出检测模块、用于检测片盒内装片是否异常的装片异常检测模块以及用于检测片盒是否为空盒的自反射传感器；本发明的优点在于，自动化程度高，具有多功能，倒片效率高。

主权项

1.一种倒片机，包括机架(1)，其特征是：还包括片盒平台(2)、执行器(3)、升降运动直线模组(101)、左右运动直线模组(9)、前后运动直线模组(8)和控制模块(7)；升降运动直线模组(101)、左右运动直线模组(9)以及前后运动直线模组(8)分别与控制模块(7)之间建立通信连接，控制模块(7)用于控制升降运动直线模组(101)、左右运动直线模组(9)和前后运动直线模组(8)运动；前后运动直线模组(8)以及左右运动直线模组(9)分别与机架(1)相固定连接；升降运动直线模组(101)与前后运动直线模组(8)相固定连接；片盒平台(2)与左右运动直线模组(9)相固定连接；执行器(3)与升降运动直线模组(101)相固定连接；片盒平台(2)上沿左右运动直线模组(9)运动方向设有两个供片盒(106)定位的工位。