[发明专利]高效多晶硅锭的制备方法及高效多晶硅锭有效

专利信息
申请号: 201810495709.1 申请日: 2018-05-22
公开(公告)号: CN108505112B 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 王坤;刘志强;潘家明;潘明翠;王丙宽 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 米文智
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明适用于光伏电池技术领域,提供了高效多晶硅锭的制备方法及高效多晶硅锭,该方法包括:在坩埚内表面涂覆第一隔离层;在所述坩埚底面涂覆的第一隔离层的上表面涂覆反应层;在所述坩埚底面涂覆的反应层的上表面涂覆第二隔离层;在涂覆第二隔离层后的坩埚内放入多晶硅原料,并将坩埚放置于铸锭炉中,将所述铸锭炉抽真空;将所述铸锭炉加热至第一预设温度,使所述多晶硅原料全部熔化,形成硅液;利用所述反应层中的二氧化硅与渗透所述第二隔离层的硅液,在所述坩埚底部形成异质结;利用所述异质结对硅液进行结晶处理,生长成高效多晶硅锭。本发明能够降低工艺难度,节省化料时间。
搜索关键词: 高效 多晶 制备 方法
【主权项】:
1.一种高效多晶硅锭的制备方法,其特征在于,包括:在坩埚内表面涂覆第一隔离层,所述第一隔离层的材质包括氮化硅和纯水;在涂覆第一隔离层的坩埚底面的上表面涂覆反应层,所述反应层的材质包括二氧化硅和纯水;在涂覆反应层的坩埚底面的上表面涂覆第二隔离层,所述第二隔离层的材质包括氮化硅和纯水;在涂覆第二隔离层后的坩埚内放入多晶硅原料,并将所述坩埚放置于铸锭炉中,将所述铸锭炉抽真空;将所述铸锭炉加热至第一预设温度,使所述多晶硅原料全部熔化,形成硅液;利用所述反应层中的二氧化硅与渗透所述第二隔离层的硅液,在所述坩埚底部形成异质结;利用所述异质结对硅液进行结晶处理,生长成高效多晶硅锭。
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