[发明专利]一种电容式超声换能器及其制造方法在审
| 申请号： | 201810497011.3 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108722837A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 崔开宇;朱鸿博;蔡旭升;黄翊东;刘仿;冯雪;张巍 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;B32B9/00;B32B9/04;B32B37/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;李相雨 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电容式超声换能器及其制造方法。其中，所述超声换能器包括：从下到上依次设置的衬底、绝缘隔离层和石墨烯层，在所述衬底上与所述石墨烯层对应的位置设置下电极，所述石墨烯层和所述下电极之间设置空腔，所述石墨烯层、所述下电极和所述空腔形成平板式电容结构。所述方法用于制造上述超声换能器。本发明提供的电容式超声换能器及其制造方法，提高了超声换能器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯层 电容式超声换能器 超声换能器 下电极 制造 衬底 绝缘隔离层 平板式电容 空腔形成 依次设置 灵敏度 空腔 | ||
【主权项】：
1.一种电容式超声换能器，其特征在于，包括从下到上依次设置的衬底、绝缘隔离层和石墨烯层，在所述衬底上与所述石墨烯层对应的位置设置下电极，所述石墨烯层和所述下电极之间设置空腔，所述石墨烯层、所述下电极和所述空腔形成平板式电容结构。
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