[发明专利]颗粒物检测装置及颗粒物检测方法在审
| 申请号： | 201810499262.5 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108663293A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 董凯;颜元;李冠男;王孝进 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G01N15/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳;陈丽丽 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种颗粒物检测装置及颗粒物检测方法。所述颗粒物检测装置，包括：颗粒物分析仪，用于分析气体中的颗粒物信息；采样管道，包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端用于与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端用于与所述颗粒物分析仪连通；所述采样管道用于将所述半导体处理腔室中的气体传输至所述颗粒物分析仪。本发明实现了对半导体处理腔室内部颗粒物情况的实时检测，提高了颗粒物检测的效率和准确度，确保了半导体制程持续、稳定的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒物检测装置 颗粒物分析仪 颗粒物检测 半导体处理腔室 采样管道 第一端 颗粒物 连通 半导体制造技术 半导体处理 半导体制程 准确度 气体传输 腔室内部 实时检测 相对设置 排气口 分析 | ||
【主权项】：
1.一种颗粒物检测装置，其特征在于，包括：颗粒物分析仪，用于分析气体中的颗粒物信息；采样管道，包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端用于与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端用于与所述颗粒物分析仪连通；所述采样管道用于将所述半导体处理腔室中的气体传输至所述颗粒物分析仪。
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