[发明专利]控制器调整系统以及调整方法

摘要

本发明涉及控制器调整系统以及调整方法，求出区之间的干扰强度，在加热装置的实际工作时使工件的表面温度均匀。调整装置(7)具备：目标值设定部(75)，其将全部的区的目标值设定为相同值；补偿设定部(70)和干扰强度计算部(71)，其在第1区的控制量中增加临时补偿，基于在施加临时补偿之后针对第2区从控制器(3)输出的操作量以及在施加临时补偿之前针对第2区从控制器(3)输出的操作量，计算第1区对第2区造成的干扰的强度；以及补偿计算部(72)和补偿设定部(73)，其从干扰的强度大的区起依次进行基于位于与对象区相对应的位置的工件传感器(4)的温度传感器的测定值和目标值而计算对象区的补偿并设定到控制器(3)的处理。

主权项

1.一种控制器调整系统，其特征在于，具备：目标值设定部，其构成为：加热装置由在对工件进行加热的多个区中的各区具备加热部的电热单元以及针对每个区对该电热单元进行控制的控制器构成，冷却装置由在对工件进行冷却的多个区中的各区具备冷却部的电热单元以及针对每个区对该电热单元进行控制的控制器构成，所述目标值设定部对于所述加热装置或所述冷却装置，在调整所述控制器的补偿时，在所述工件的表面针对每个区固定有温度传感器的状态下，指示所述控制器将全部的区的目标值设为相同值；临时补偿设定部，其构成为：对于在各区中的1个的第1区的控制量中增加预先指定的临时补偿的处理，一边改变所述第1区一边对全部的区进行该处理；干扰强度测定部，其构成为：基于在施加所述临时补偿之后针对所述第1区以外的第2区在温度控制整定时从所述控制器输出的操作量以及在施加所述临时补偿之前针对所述第2区在温度控制整定时从所述控制器输出的操作量，针对每个第1区以及每个第2区而计算所述第1区对所述第2区造成的干扰的强度；补偿计算部，其构成为：从所述干扰的强度大的区起依次对全部的区进行基于所述温度传感器的整定时的测定值以及所述目标值来计算所述对象区的补偿的处理，该温度传感器是指位于与补偿调整的对象区对应的位置的温度传感器；补偿设定部，其构成为：指示所述控制器在所述对象区的控制量中增加由所述补偿计算部计算出的补偿；以及判定部，其构成为：使所述补偿计算部和所述补偿设定部的处理重复执行，直至规定的补偿调整结束条件成立为止。