[发明专利]一种激光光束准直的判断方法及采用该方法的剪切干涉仪有效
申请号: | 201810502091.7 | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN110530297B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 林亮;郭春雷 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27;G01B9/02;G02B27/12 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及光学测量领域,具体涉及一种激光光束准直的判断方法,该方法采用分束立方体形成干涉光斑,并通过调节分束立方体不同入射面的剪切量改变相交的光束相位,并通过干涉光斑是否旋转即可判断光斑的准直或发散,有效的简化了判断流程,其相应的剪切干涉仪也仅通过一个分束立方体调节相应光路,简化了仪器结构,使得对激光光束的准直判断更为简单而直观。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 光束 判断 方法 采用 剪切 干涉仪 | ||
【主权项】:
1.一种激光光束准直的判断方法,其特征在于,包括以下步骤:/nS1.将待测光束的光轴指向分束立方体,所述分束立方体将所述待测光束分割且形成干涉后透射到成像设备,使成像设备采集到干涉光斑;/nS2.改变所述分束立方体的第一入射面与第二入射面对所述待测光束的剪切量;/nS3.观察所述成像设备中所述干涉光斑是否旋转,若所述干涉光斑不旋转则所述待测光束准直,若所述干涉光斑旋转则所述待测光束发散。/n
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