[发明专利]一种薄膜式悬臂梁表面应力生物传感器的制造方法

摘要

本发明涉及生物传感器制造领域，具体为一种薄膜式悬臂梁表面应力生物传感器的制造方法，包括以下步骤：用聚二甲基硅氧烷原液制备聚二甲基硅氧烷基底；加热固化后，中央切割孔槽；在玻璃衬底上旋涂一层聚二甲基硅氧烷薄膜，在聚二甲基硅氧烷薄膜中央切凹槽，将聚二甲基硅氧烷薄膜在氯金酸溶液还原，表面旋涂光刻胶并进行选择性曝光；聚二甲基硅氧烷薄膜与聚二甲基硅氧烷基底粘合，切割成十字悬臂梁形状，制得聚二甲基硅氧烷薄膜基底；还原沉淀纳米金；剥离光刻胶；划片、封装、测试即得。本发明可以实现集成化，微型化，满足生物传感器的实际应用需要。

主权项

1.一种薄膜式悬臂梁表面应力生物传感器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：1）在玻璃培养皿里，用聚二甲基硅氧烷原液制备聚二甲基硅氧烷基底；加热固化后，在聚二甲基硅氧烷基底中央切割孔槽，制得聚二甲基硅氧烷基底；2）在玻璃衬底上旋涂一层聚二甲基硅氧烷薄膜，进行固化后，在聚二甲基硅氧烷薄膜中央切割凹槽，制得聚二甲基硅氧烷薄膜；3）将聚二甲基硅氧烷薄膜浸泡在氯金酸溶液中20‑24小时；清洗聚二甲基硅氧烷薄膜表面，在其表面旋涂光刻胶并进行选择性曝光；4）将曝光后的聚二甲基硅氧烷薄膜从玻璃衬底上剥离，转移到聚二甲基硅氧烷基底上，粘合，固化，并将其切割成十字悬臂梁形状，制得聚二甲基硅氧烷薄膜基底；5）将聚二甲基硅氧烷薄膜基底浸泡在氯金酸、碳酸氢钾、葡萄糖混合而成的还原液中，对聚二甲基硅氧烷薄膜基底进行还原沉淀纳米金；6）剥离光刻胶；7）划片、封装、测试，制得传感器。