[发明专利]一种新型芯片光源结构及其制备工艺在审
申请号: | 201810504809.6 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN108767077A | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 李锋;吉爱华;叶浩文 | 申请(专利权)人: | 深圳市光脉电子有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/12;H01L33/56;H01L21/02;H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种新型芯片光源结构,包括外延结构、N面电极层以及P面电极层;外延结构包括从下到上依次设置的钻石衬底、碳化硅过渡层、氮化铝过渡层、GaP缓冲层、GaP电流扩展和欧姆接触层、AlGaInP过渡和下限制层、发光层、AlGaInP上限制层以及窗口层;窗口层上设有N面电极层或P面电极层;GaP电流扩展和欧姆接触层上设有N面电极层或P面电极层;使用钻石衬底作为外延生长衬底,并使用碳化硅过渡层、氮化铝过渡层、磷化镓作为缓冲层,不存在衬底光吸收问题,可以抑制晶格失配和热膨胀系数失配导致的材料生长缺陷,大幅度提高光输出能力,减少了环境污染;同时,采用可模塑有机硅模粒成型工艺光色品质好、可靠性高、优化了工艺、降低成本。 | ||
搜索关键词: | 衬底 氮化铝过渡层 欧姆接触层 电流扩展 光源结构 外延结构 新型芯片 窗口层 过渡层 缓冲层 碳化硅 钻石 热膨胀系数 材料生长 成型工艺 晶格失配 上限制层 外延生长 下限制层 依次设置 制备工艺 发光层 光输出 光吸收 磷化镓 有机硅 光色 模粒 失配 优化 | ||
【主权项】:
1.一种新型芯片光源结构,其特征在于,包括外延结构、N面电极层以及P面电极层,所述外延结构包括从下到上依次设置的钻石衬底、碳化硅过渡层、氮化铝过渡层、GaP缓冲层、GaP电流扩展和欧姆接触层、AlGaInP过渡和下限制层、发光层、AlGaInP上限制层以及窗口层;所述窗口层上设有所述N面电极层或所述P面电极层;所述GaP电流扩展和欧姆接触层上设有所述N面电极层或所述P面电极层;所述N面电极层为负极,所述P面电极层为正极。
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