[发明专利]一种原子层沉积在线监控系统在审
| 申请号： | 201810507330.8 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108425105A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 黎微明;李翔;赵昂璧;左敏;糜珂 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52;C23C16/455 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 朱少华 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子层沉积在线监控系统，所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；信号处理系统与信号转化装置和工艺控制系统连接，信号转化装置将实时工艺状态传送到信号处理系统；工艺控制系统将实时的理论工艺状态传送到信号处理系统，信号处理系统将实时工艺状态和理论工艺状态的拟合，实时监控工艺状态。 | ||
| 搜索关键词： | 信号处理系统 信号转化装置 工艺控制系统 工艺状态 在线监控系统 原子层沉积 检测 实时工艺 原子层沉积设备 监控系统 气流流动 实时监控 元件设置 拟合 转化 | ||
【主权项】：
1.一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；信号处理系统与信号转化装置和工艺控制系统连接，信号转化装置将实时工艺状态传送到信号处理系统；工艺控制系统将实时的理论工艺状态传送到信号处理系统，信号处理系统将实时工艺状态和理论工艺状态的拟合，实时监控工艺状态。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
