[发明专利]一种半导体静电测试装置在审
| 申请号： | 201810515769.5 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108398625A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 左兴亮;杨沙;谢正清 | 申请（专利权）人： | 扬州虹扬科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 225116 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体静电测试装置，包括静电测试枪、调节机构和底座，调节机构安装在底座上，且调节机构上安装有静电测试枪，调节机构包括第一滑台气缸、第二滑台气缸和支撑架，第一滑台气缸安装在底座上，且第一滑台气缸上方安装有第二滑台气缸，支撑架安装在第二滑台气缸上方，且支撑架上方设置有静电测试枪，本发明解决了现有技术中手持检测设备检测不方便的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 滑台气缸 静电测试 支撑架 底座 半导体 手持检测设备 机构安装 检测 | ||
【主权项】：
1.一种半导体静电测试装置，其特征在于，包括静电测试枪、调节机构和底座，所述调节机构安装在底座上，且调节机构上安装有所述静电测试枪，所述调节机构包括第一滑台气缸、第二滑台气缸和支撑架，所述第一滑台气缸安装在底座上，且第一滑台气缸上方安装有所述第二滑台气缸，所述支撑架安装在第二滑台气缸上方，且支撑架上方设置有所述静电测试枪。
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