[发明专利]一种制备氮化铝晶体的装置和方法有效
| 申请号： | 201810515775.0 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108396384B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 覃佐燕;武红磊;钟旭辉;郑瑞生 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B11/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种制备氮化铝晶体的装置及方法，涉及材料制备技术领域，该装置包括：第一坩埚、第二坩埚、衬底和调温台；所述第一坩埚包括原料腔和反应腔，其中，所述反应腔的直径大于原料腔的直径，所述原料腔位于所述第一坩埚的底部，所述反应腔位于所述第一坩埚的开口处；所述衬底覆盖所述第一坩埚的开口，以使氮化铝晶体在所述反应腔升华后凝结于所述衬底上；所述调温台为中空结构，且中空部位的直径最小的一侧的置于所述衬底上，以调整所述衬底与外部空气的接触面积；所述第二坩埚包括原料腔和反应腔，其中，所述第二坩埚的原料腔位于所述第二坩埚的底部，所述第二坩埚的原料腔的直径大于所述第二坩埚的反应腔的直径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氮化 晶体 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备氮化铝晶体的装置，其特征在于，所述装置包括：第一坩埚、第二坩埚、衬底和调温台；所述第一坩埚包括原料腔和反应腔，其中，所述反应腔的直径大于原料腔的直径，所述原料腔位于所述第一坩埚的底部，所述反应腔位于所述第一坩埚的开口处；所述衬底覆盖所述第一坩埚的开口，以使氮化铝晶体在所述反应腔升华后凝结于所述衬底上；所述调温台为中空结构，且中空部位的直径最小的一侧的置于所述衬底上，以调整所述衬底与外部空气的接触面积；所述第二坩埚包括原料腔和反应腔，其中，所述第二坩埚的原料腔位于所述第二坩埚的底部，所述第二坩埚的原料腔的直径小于所述第二坩埚的反应腔的直径。
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