[发明专利]大口径光学晶体表面微缺陷的快速寻位与批量检测方法

摘要

大口径光学晶体表面微缺陷的快速寻位与批量检测方法，属于光学工程领域。本发明为了解决大口径光学晶体表面微缺陷的批量、快速和精确检测的难题而提出的。本方法首先采用“连续运动采集”的光栅扫描方式对整块晶体元件完整扫描；然后，通过开发图像采集程序并建立其与数控运动程序的通讯，实现根据晶体实时扫描位置来采集图像的功能；基于图像处理算法实现对采集图像中缺陷点轮廓位置的椭圆拟合，获得单张图片中缺陷点数量、位置、尺寸等信息；最后，开发缺陷点自动检测程序，建立基于Microsoft Access微缺陷信息的数据库，以实现对采集图像的批量检测和缺陷点信息的保存、更新。本发明还为大口径晶体元件表面微缺陷的修复和控制提供详细的参数依据。

主权项

1.一种大口径光学晶体表面微缺陷的快速寻位与批量检测方法，其特征在于，它由以下步骤实现：步骤1.安装待测光学晶体元件，组装并调整微缺陷检测显微系统，晶体元件移动机构各轴自动回零；步骤2.基于大口径元件光栅式扫描路径，确定显微镜实际放大倍率，估算不同放大倍率下缺陷检测CCD的视野范围，选择整块晶体元件表面微缺陷扫描步距；步骤3.采用连续运动采集的扫描方案获得整块晶体表面微缺陷图像；步骤4.采用基于欧洲机器视觉协会制定的GenlCam标准开发的JAI SDK函数库，编制检测缺陷时CCD图像采集程序，通过建立图像采集程序与给定的数控运动程序的通讯，实现根据晶体实时扫描位置采集图像的功能；图像采集程序用于控制CCD采集图像，数控运动程序用于控制晶体元件的移动；步骤5.根据步骤4采集的多张光学晶体表面图像，基于图像处理算法对图像中微缺陷轮廓位置进行拟合，获得每张图片中缺陷点数量、位置、尺寸信息；步骤6.开发微缺陷点自动检测程序和图形化界面，建立基于Microsoft Access微缺陷信息的数据库，实现对采集图像的批量处理和缺陷点详细信息的管理。