[发明专利]一种多类型气体传感用多元热释电敏感元件

摘要

本发明属于红外气体传感技术领域，具体为一种多类型气体传感用多元热释电敏感元件。本发明通过设计单个红外敏感单元，将第二结构层M‑I‑M超材料结构的底层金属层同时作为第一结构层的上电极。通过对第二结构层的顶部金属图形层进行分区图形化处理，实现单一热释电材料上多敏感元集成，多红外波段的吸收，以及多气体种类的响应。本发明将热释电敏感材料与超材料完美吸波结构结合，应用于气体传感，直接实现敏感元高的红外选择性，省略现有红外气体传感器中滤光片部件，减小了器件体积，提高器件集成度，且利于批量化制作。

主权项

1.一种多类型气体传感用多元热释电敏感元件，包括n个红外敏感单元，n≥1，其特征在于：各红外敏感单元结构相同，包括两个结构层：第一结构层，包含热释电材料以及上下电极，组成一个传统的红外敏感元；第二结构层，M‑I‑M超材料结构，即底层金属层、介质层和顶部金属图形层组成的三层薄膜，构成超材料红外完美吸波结构MPA。且第二结构层的底层金属层同时作为第一结构层的上电极。