[发明专利]一种新型的ALD设备前驱体源载气加热方法

摘要

本发明一种新型的ALD设备前驱体源载气加热方法，包括:带伴热的质量流量计、气管路、出气管路以及气源瓶，所述进气管路与所述出气管路均与气源瓶连接，所述出气管远离气源瓶的一端连接反应腔，其中，使所述气源瓶中注入反应前驱气体，所述进气管路连接气源瓶的一端，使进气管路的出气口位于所述反应低饱和蒸汽压前驱体源之上，所述出气管路连接气源瓶的一端，位于所述反应前驱体的上部，所述出气管路外设有加热带。通过使用本发明一种新型的ALD设备低饱和蒸汽压前驱体源加热方式，有效地通过准确控制气源温度，以及提高加热带温度设定，有效的加速前驱体源扩散，有效地减少气体残余，从而达到提高反应速率，提高了设备的利用率。

主权项

1.一种新型的ALD设备前驱体源载气加热方法，包括质量流量计(1)、进气管路(2)、前驱体体源瓶(3)、反应前躯体(4)、出气管路(5)、反应腔(6)，其特征在于：所述的前驱体源载气加热方法还包括快速响应阀(7)、热交换器(8)及热交换器(9)。