[发明专利]一种气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺有效
| 申请号： | 201810526266.8 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN108754416B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 陈荣琴 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞领克信息科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/32;C23C14/06;F16K31/12 |
| 代理公司： | 苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人： | 周雅卿 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州市太*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺，包括步骤(1)，提供一导向杆的碳素钢基材，打磨其表面后放置于酸性溶液中，洗涤后再水洗干燥；步骤(2)，利用霍尔气体离子源对预处理后的基材进行气体轰击来强化基材表面，步骤(3)，采用Nd:YAG脉冲激光打孔器在基材表面打圆孔；步骤(4)，采用磁过滤沉积技术在基材表面分别沉积ZrB |
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| 搜索关键词： | 一种 气动 执行 应用 磨损 导向 及其 表面 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种气动执行器应用的低磨损导向杆的制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤(1)，提供一导向杆的碳素钢基材，打磨其表面，并将打磨后的碳素钢基材放置于酸性溶液中，充分洗涤取出后再水洗干燥，得到预处理的基材；步骤(2)，利用霍尔气体离子源对所述基材进行气体轰击来强化预处理的基材表面，霍尔源工作电压为500～1800V，轰击环境温度600～800℃，轰击时间2～3h；步骤(3)，采用Nd：YAG脉冲激光打孔器在步骤(2)处理后的基材表面打圆孔，孔径为0.06～0.1mm，面积率为10％～25％，得到表面织构化的基材；步骤(4)，采用磁过滤沉积技术在表面织化的基材表面分别沉积ZrB2靶和MoS2靶，形成涂覆于基材表面的固体涂层，进而得到表面工艺处理后的导向杆。
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