[发明专利]一种基于全局随机编码规则的混合衍射光栅有效
| 申请号： | 201810527262.1 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108761605B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘克;王健年;李艳秋 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李微微;仇蕾安 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于全局随机编码规则的混合衍射光栅，由全局随机编码振幅衍射光栅和棋盘位相光栅叠加而成。其中由全局随机编码振幅衍射光栅采用两种透射率像元，在衍射光栅进行全局随机分布，并保证各个周期的同一像元位置的平均透射率等于正弦函数理想衍射光栅在对应位置的透射率；应用在四光束横向剪切干涉技术中，该衍射光栅不需要借助级选择板便能达到完全消除高阶衍射光的效果，避免了精度和测量范围的损失，同时与改进的Hartmann掩模或是随机编码混合光栅相比，抑制高阶衍射级次光的效果更好，提高了波前的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 全局 随机 编码 规则 混合 衍射 光栅 | ||
【主权项】：
1.一种基于全局随机编码规则的混合衍射光栅，其特征在于，由全局随机编码振幅衍射光栅和棋盘位相光栅叠加而成；所述全局随机编码振幅光栅的每个周期由多个像元构成；所述像元具有两种不同的设定透射率，分别为1和0；且该两种透射率像元在所述全局随机编码振幅衍射光栅上随机分布，所述随机分布规则为：针对各个周期的同一像元位置，该像元位置的平均透射率等于正弦函数的绝对值理想衍射光栅在对应位置的透射率。
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