[发明专利]一种多模干涉型全晶体波导分束器的制备方法在审
| 申请号： | 201810532366.1 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108732682A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 姚一村;张丙元;都辉 | 申请（专利权）人： | 聊城大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 李浩成 |
| 地址： | 252059*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多模干涉型全晶体波导分束器的制备方法，属于集成光子学器件制备技术领域，采用离子注入结合飞秒激光刻写或精密机械切割的技术制备多模干涉型波导分束器。其特点及优势主要包括：1.制备工艺简单，对加工精度要求较低；2.损耗小；3.结构紧凑，易于集成；4.适用材料范围广，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 分束器 制备 多模干涉型 晶体波导 多模干涉型波导 刻写 加工精度要求 集成光子学 飞秒激光 精密机械 器件制备 制备工艺 离子 切割 | ||
【主权项】：
1.一种多模干涉型全晶体波导分束器的制备方法，其特征在于，步骤如下：步骤A，选择一定尺寸的抛光晶体片作为衬底，通过离子注入形成平面波导；步骤B，1）采用飞秒激光刻蚀或精密机械切割的方法制备一条入射波导；2）采用飞秒激光刻蚀或精密机械切割的方法制备多模波导；3）采用飞秒激光刻蚀或精密机械切割的方法制备N条出射波导。
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