[发明专利]显示面板及其制作方法有效
申请号: | 201810532487.6 | 申请日: | 2018-05-29 |
公开(公告)号: | CN108735787B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 冯校亮 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/77;H01L21/027;G06F3/041 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请公开了一种显示面板及其制作方法,该制作方法包括:在基板上形成器件层;在器件层上定义光阻图案,其中,光阻图案包括光阻部分以及裸露部分,裸露部分未被光阻覆盖;依据光阻图案进行镀膜,使得裸露部分以及光阻部分均覆盖有相应的膜层;剥离光阻部分以及覆盖在光阻部分上的膜层,进而形成相应的目标膜层。该制作方法依据黄光、镀膜、剥离的顺序进行膜层的制作,由于不会用到蚀刻工艺,所有作为基底的工艺层均不会遭到蚀刻的破坏,可以确保良好的界面接触。 | ||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:在基板上形成器件层;在所述器件层上定义光阻图案,其中,所述光阻图案包括光阻部分以及裸露部分,所述裸露部分未被所述光阻覆盖;依据所述光阻图案进行镀膜,使得所述裸露部分以及所述光阻部分均覆盖有相应的膜层;剥离所述光阻部分以及覆盖在所述光阻部分上的膜层,进而形成相应的目标膜层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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