[发明专利]一种半导体二极管生产制造工艺有效

专利信息
申请号: 201810534881.3 申请日: 2018-05-29
公开(公告)号: CN108470684B 公开(公告)日: 2021-03-19
发明(设计)人: 陈欣洁;王勇 申请(专利权)人: 上海朋熙半导体有限公司
主分类号: H01L21/329 分类号: H01L21/329
代理公司: 广州海藻专利代理事务所(普通合伙) 44386 代理人: 张大保
地址: 201800 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于二极管生产制造技术领域,具体的说是一种半导体二极管生产制造工艺,包括酸洗、电镀、焊接、绝缘保护、引脚折弯和后处理等工艺步骤;所述引脚折弯工序中所用到的二极管引脚成形设备包括安装架、折弯模块和夹持模块,安装架包括工作台和支撑架;支撑架位于工作台下端;工作台上设置有弧形通孔,且弧形通孔位于折弯模块处;夹持模块位于工作台的台面上,夹持模块与工作台为可拆卸式连接,夹持模块用于夹持二极管的引脚;折弯模块位于夹持模块端部,折弯模块用于对二极管的引脚折弯;本发明通过二极管引脚成形设备改良了二极管生产制造工艺,使得二极管引脚的折弯方式更为简单,提高了二极管引脚的折弯效率以及二极管的品质。
搜索关键词: 一种 半导体 二极管 生产 制造 工艺
【主权项】:
1.一种半导体二极管生产制造工艺,其特征在于:采用如下工艺步骤进行生产制造:步骤一:酸洗;将二极管芯片放置在硫酸和磷酸的混酸溶液内进行酸腐蚀,且硫酸与磷酸的体积比为1:2,腐蚀时间为10~15min,酸温度控制在1~5℃之间;步骤二:电镀;待步骤步骤一酸洗工序完成后,酸洗后的二极管芯片经电镀,在二极管芯片表面形成金属保护层,镀层厚度为3~5μm,镀层金属为锡;步骤三:焊接;待步骤步骤二电镀工序完成后,将两金属制的引脚(4)、焊片和电镀后的二极管芯片装入工夹具内,送入焊接炉三次加温,第一次温度控制在270~280℃,焊接时间为4~5min,第二次温度控制在280~290℃,焊接时间为4~5min,第三次温度控制在290~300℃,焊接时间为4~5min,使二极管芯片与引脚(4)连接;步骤四:绝缘保护;待步骤步骤三焊接工序完成后,焊接后的材料经清洗烘干后,用相应治具上绝缘保护胶,再经固化工艺,促使引脚(4)上的绝缘保护胶所形成的胶层(41)完全固化;步骤五:引脚(4)折弯;待步骤步骤四绝缘保护工序完成后,将二极管的引脚(4)放入二极管引脚(4)成形设备中,先对二极管引脚(4)夹持固定和对二极管引脚(4)的胶层软化,然后对二极管引脚(4)折弯成形;步骤六:后处理;待步骤步骤五引脚(4)折弯工序完成后,对固化好的产品进行表面处理,再测试成品包装;其中,所述步骤五中所用到的二极管引脚成形设备,包括包括安装架(1)、折弯模块(2)和夹持模块(3),所述安装架(1)包括工作台(11)和支撑架(12);所述支撑架(12)位于工作台(11)下端,支撑架(12)与工作台(11)固连,支撑架(12)用于支撑工作台(11);所述工作台(11)上设置有弧形通孔(111),且弧形通孔(111)位于折弯模块(2)处;所述夹持模块(3)位于工作台(11)的台面上,夹持模块(3)与工作台(11)为可拆卸式连接,夹持模块(3)用于夹持二极管的引脚(4);所述折弯模块(2)位于夹持模块(3)端部,折弯模块(2)用于对二极管的引脚(4)折弯。
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