[发明专利]一种有机/无机pn结纳米阵列的柔性广谱光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种有机/无机pn结纳米阵列的柔性广谱光电探测器及其制备方法，依次包括玻璃纤维布衬底，设置于玻璃纤维布衬底上的β‑Ga2O3薄膜，设置于β‑Ga2O3薄膜上的β‑Ga2O3纳米柱阵列，设置于β‑Ga2O3纳米柱阵列上方及间隙的PFH薄膜，设置于PFH薄膜内的CdSe量子点，设置于PFH薄膜上方的第一Au薄膜电极，设置于β‑Ga2O3薄膜上方的第二Au薄膜电极；内部设置CdSe量子点的PFH薄膜为p型PFH@CdSe量子点有机蓝光混合薄膜，p型PFH@CdSe量子点有机蓝光混合薄膜与β‑Ga2O3纳米柱阵列形成pn结结构。发明的柔性广谱光电探测器对深紫外区至近红外区光谱均有响应，具有高响应度的广谱探测能力和零功耗特性，并且性能稳定，反应灵敏，在可穿戴设备、智能纺织品和广谱光电探测领域具有很大的应用前景。

主权项

1.一种有机/无机pn结纳米阵列的柔性广谱光电探测器，其特征在于，依次包括玻璃纤维布衬底，设置于玻璃纤维布衬底上的β‑Ga2O3薄膜，设置于β‑Ga2O3薄膜上的β‑Ga2O3纳米柱阵列，设置于β‑Ga2O3纳米柱阵列上方及间隙的PFH薄膜，设置于PFH薄膜内的CdSe量子点，设置于PFH薄膜上方的第一Au薄膜电极，设置于β‑Ga2O3薄膜上方的第二Au薄膜电极；内部设置CdSe量子点的PFH薄膜为p型PFH@CdSe量子点有机蓝光混合薄膜，p型PFH@CdSe量子点有机蓝光混合薄膜与β‑Ga2O3纳米柱阵列形成pn结结构。