[发明专利]一种波片面相位延迟量的检测方法与装置有效
| 申请号： | 201810536990.9 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN108760249B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张苏娟;段存丽;孙聃;郑继明;冯晓强 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人： | 黄小梧 |
| 地址： | 710069 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种波片面相位延迟量的检测方法与装置，用于检测待测波片表面上每个点的相位延迟量，包括以下步骤：利用ZYGO干涉仪产生平面光波；将该平面光波先处理为线偏振光波，线偏振光波再调节光束口径后得到限制光束口径的偏振光波，将限制光束口径的偏振光波照射到待测波片上；待测波片包括第一表面和第二表面，调节ZYGO干涉仪和待测波片的位置使得第一表面的反射光点和平面光波的反射光点重合，并且调节ZYGO干涉仪和待测波片的位置使得第二表面的反射光点和平面光波的反射光点重合，计算待测波片的第一表面和第二表面中每个点的相位延迟量。本发明实现了大口径的波片面相位延迟量的三维检测，为使用波片的宽光束光学检测系统的波面分析与补偿提供了依据。 | ||
| 搜索关键词： | 波片 相位延迟量 反射光点 第二表面 第一表面 光束口径 干涉仪 线偏振光波 偏振光波 平面光波 光波 重合 检测 光学检测系统 三维检测 大口径 宽光束 波面 照射 分析 | ||
【主权项】：
1.一种波片面相位延迟量的检测方法，其特征在于，用于检测待测波片(6)表面上每个点的相位延迟量，包括以下步骤：利用ZYGO干涉仪(1)产生平面光波；将该平面光波先处理为线偏振光波，所述线偏振光波再调节光束口径后得到限制光束口径的偏振光波，将所述限制光束口径的偏振光波照射到待测波片(6)上；所述待测波片(6)包括第一表面(6‑1)和第二表面(6‑2)，通过五维调节架(7)调节待测波片(6)的位置，并调节ZYGO干涉仪(1)，使得待测波片(6)的第一表面(6‑1)的反射光点和平面光波的反射光点重合，利用ZYGO干涉仪(1)计算第一表面(6‑1)的面形，即得到待测波片的第一表面(6‑1)反射的波面；通过五维调节架(7)调节待测波片(6)的位置，并调节ZYGO干涉仪(1)，使得待测波片(6)的第二表面(6‑2)的反射光点和平面光波的反射光点重合，利用ZYGO干涉仪(1)计算第二表面(6‑2)的面形，即得到待测波片(6)的第二表面(6‑2)反射的波面，计算待测波片(6)的第一表面(6‑1)和第二表面(6‑2)中每个点的相位延迟量。
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