[发明专利]一种掩膜板搬运装置及其搬运方法有效
| 申请号： | 201810539705.9 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN109051741B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 刁艳美;高威;孙明晋;孙彬辉;陈发明 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B65G47/90 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜板搬运装置及其搬运方法，包括搬运小车本体、位于小车本体内部的转置装置以及位于转置装置上方的掩膜板拾取检测装置；所述转置装置用于将掩膜板包装盒在竖直状态和水平状态之间转换，所述转置装置包括平台部、与平台部垂直连接且用于固定掩膜板包装盒的对接部以及带动平台部转动的驱动轴；所述掩膜板拾取检测装置包括与搬运小车本体固定连接的升降轴、在升降轴上垂直移动的竖直升降杆、固定在竖直升降杆上的水平位移杆以及位于水平位移杆上的掩膜板拾取结构。本发明通过提出一种多功能掩膜板搬运装置，可有效解决空间限制问题、成本问题、有效维护掩膜板的清洁度，设备简单易操作，节省人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 搬运 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板搬运装置，其特征在于：包括搬运小车本体、位于小车本体内部的转置装置以及位于转置装置上方的掩膜板拾取检测装置；所述转置装置用于将掩膜板包装盒在竖直状态和水平状态之间转换，所述转置装置包括平台部、与平台部垂直连接且用于固定掩膜板包装盒的对接部以及带动平台部转动的驱动轴；所述掩膜板拾取检测装置包括与搬运小车本体固定连接的升降轴、在升降轴上垂直移动的竖直升降杆、固定在竖直升降杆上的水平位移杆以及位于水平位移杆上的掩膜板拾取结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
