[发明专利]一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统及测量方法在审
申请号: | 201810542352.8 | 申请日: | 2018-05-30 |
公开(公告)号: | CN108732580A | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 陈宁;郭刚祥;胡朋兵;张建锋 | 申请(专利权)人: | 浙江省计量科学研究院 |
主分类号: | G01S17/08 | 分类号: | G01S17/08 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统及测量方法,涉及检测技术领域。飞秒激光器输出激光经偏振分束棱镜Ⅰ反射后,经声光调制器后被0°反射镜反射原路返回,反射光透过偏振分束棱镜Ⅰ射入偏振分束棱镜Ⅱ分成两束,一束为参考臂光路,被光电探测器Ⅰ接收,另一束为测量臂光路,被光电探测器Ⅱ接收,光电探测器通过相位计与计算机电连接。本发明解决了现有技术中在绝对距离测量中,量程与测量精度不能同时满足的技术问题。本发明有益效果为:用掺铒飞秒激光频率梳为光源,脉冲重复频率高,利用高次谐波提高距离测量精度。通过飞秒光梳脉冲间干涉,结合相位法与合成波长法实现扩展测量范围大。系统结构简单,易于操作。 | ||
搜索关键词: | 偏振分束棱镜 光电探测器 合成波长 相位法 测量 绝对距离测量系统 飞秒激光频率梳 检测技术领域 绝对距离测量 脉冲重复频率 参考臂光路 反射镜反射 飞秒激光器 声光调制器 高次谐波 距离测量 输出激光 系统结构 原路返回 测量臂 电连接 反射光 相位计 脉冲 掺铒 光路 量程 射入 反射 光源 计算机 干涉 | ||
【主权项】:
1.一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统,包括:飞秒激光器(1)、偏振分束棱镜Ⅰ(5)、声光调制器(7)、0°反射镜(10)、偏振分束棱镜Ⅱ(13)、光电探测器1(14)、目标反射镜(16)、光电探测器Ⅱ(18)、相位计(19),其特征在于:所述飞秒激光器(1)输出激光经偏振分束棱镜Ⅰ(5)反射后,经声光调制器(7)后被0°反射镜(10)反射原路返回,反射光透过偏振分束棱镜Ⅰ(5)射入偏振分束棱镜Ⅱ(13)分成两束,一束为参考臂光路,穿过偏振分束棱镜Ⅱ(13)被光电探测器Ⅰ(14)接收,另一束为测量臂光路,被偏振分束棱镜Ⅱ(13)反射,经目标反射镜(16)后穿过偏振分束棱镜Ⅱ(13),被光电探测器Ⅱ(18)接收,所述光电探测器Ⅰ(14)与光电探测器Ⅱ(18)分别与相位计(19)电连接,相位计(19)电连接计算机(20)。
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