[发明专利]研磨机台及研磨方法在审
| 申请号： | 201810542757.1 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN108655947A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;沈佳迪 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/005;B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴迪 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种研磨机台及研磨方法。所述研磨机台包括：研磨头；设置在所述研磨头下方的研磨台；放置在所述研磨台上的研磨垫；以及所述研磨垫上设置有沟槽。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨机台 研磨 研磨垫 研磨头 研磨台 | ||
【主权项】：
1.一种研磨机台，其特征在于，包括：研磨头；设置在所述研磨头下方的研磨台；放置在所述研磨台上的研磨垫；以及所述研磨垫上设置有沟槽。
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