[发明专利]双频等离子体发生器在审
| 申请号： | 201810544530.0 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108565200A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 郑洋 | 申请（专利权）人： | 江苏星凯新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 姜佩娟 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及离子体发生器技术领域，尤其涉及一种双频等离子体发生器。这种双频等离子体发生器包括第一板和第二板，所述第一板置于第二板的上方位置，所述第二板置于导电轮上，第一板连接高频电源，导电轮底部连接低频电源。本发明的结构使得太阳能电池表面RIE处理有效地实现了深宽比在0.5~2可调。运用本发明制备的RIE绒面成功实现了0.6%以上的电池转换效率，效率得到了明显提升。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体发生器 第一板 双频 导电轮 太阳能电池表面 电池转换效率 离子体发生器 有效地实现 低频电源 底部连接 高频电源 上方位置 深宽比 可调 制备 成功 | ||
【主权项】：
1.一种双频等离子体发生器，包括第一板（4）和第二板（1），其特征在于：所述第一板（4）置于第二板（1）的上方位置，所述第二板（1）置于导电轮（2）上，第一板（4）连接高频电源（3），导电轮（2）底部连接低频电源（6）。
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