[发明专利]测量系统在审
| 申请号： | 201810548581.0 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110161074A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡俊弘;陈宣伃 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/00 | 分类号： | G01N25/00;G01B11/16;G05D27/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 蕭輔寬 |
| 地址： | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种测量系统包含变温容器、光学装置以及空调。所述变温容器包含透明板。所述光学装置包含第一光学传感器单元和第二光学传感器单元。所述空调安置在所述透明板与所述光学装置之间。 | ||
| 搜索关键词： | 光学装置 光学传感器单元 变温容器 测量系统 透明板 空调 安置 | ||
【主权项】：
1.一种测量系统，其包括：变温容器，其包括：透明板；光学装置，其包括：第一光学传感器单元；和第二光学传感器单元；以及空调，其安置在所述透明板与所述光学装置之间。
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