[发明专利]添加亚分辨率辅助图形的方法及该方法的应用

摘要

本发明提供了一种添加亚分辨率辅助图形的方法及该方法的应用。该方法包括以下步骤：S1，从原始版图中截取具有周期结构的图形，得到待修正版图；S2，将待修正版图通过反向光刻技术进行修正，得到修正后版图，修正后版图包括符合成像要求的主图形和辅助图形；S3，将主图形和辅助图形分离，并将辅助图形加入原始版图中进行基于模型的光学邻近修正。上述方法改变了在光学邻近修正工作中添加亚分辨率辅助图形的方式和使用的软件工具，可以有效缩短周期版图添加亚分辨率辅助图形的时间周期，不需要设计专门的测试掩模和经过多次图形摆放的测算，也不需要进行多次曝光测试，具有低成本和节约时间的优点。

主权项

1.一种添加亚分辨率辅助图形的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，从原始版图中截取具有周期结构的图形，得到待修正版图；S2，将所述待修正版图通过反向光刻技术进行修正，得到修正后版图，所述修正后版图包括符合成像要求的主图形和辅助图形；S3，将所述主图形和所述辅助图形分离，并将所述辅助图形加入所述原始版图中进行基于模型的光学邻近修正。