[发明专利]用于GDMS检测的高纯钨样品及其制备方法在审
| 申请号： | 201810553069.5 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108680411A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;王志愿 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 孙海杰 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种用于GDMS检测的高纯钨样品及其制备方法，涉及高纯钨检测技术领域，其为圆形片状样品，包括80－90％的高纯钨与10－20％的碳粉。其制备方法包括将高纯钨与所述碳粉压制成型得到用于GDMS检测的高纯钨样品。使用高纯碳粉作为粘结剂，使高纯钨粉在高压下压制成块状，然后用于GDMS检测，检测过程溅射稳定，检测结果稳定，可重复性强。而且取样量大，取样更具代表性，检测结果更可靠而且石墨粉的价格远小于铟的价格，使检测成本明显降低。将制得的用于GDMS检测的高纯钨样品进行溅射靶材测试，测试结果表明本发明制备得到的高纯钨样品可以持续稳定溅射3.0h以上。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯钨 检测 制备 检测结果 溅射 碳粉 检测技术领域 溅射靶材 可重复性 圆形片状 高纯碳 取样量 石墨粉 粘结剂 取样 压制 测试 | ||
【主权项】：
1.一种用于GDMS检测的高纯钨样品，其特征在于，包括：圆形片状样品，其包括80－90％的高纯钨与10－20％的碳粉。
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