[发明专利]一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法在审
申请号: | 201810553947.3 | 申请日: | 2018-06-01 |
公开(公告)号: | CN108642564A | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 郭宽新;刘郭军;方圆 | 申请(专利权)人: | 河南盛达光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 455000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明创造涉及一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法,所述方法是熔化和长晶过程中炉腔内的压力,随着时间不短变化;当炉腔内的压力降低时,硅熔液中的杂质,灰分更容易挥发出来,随着下一轮的降压过程,即大量气体抽出炉外的过程,气氛中的杂质和挥发由氩气迅速带出炉腔,实现杂质,灰分更容易挥发出来,并被氩气带出炉腔,所述多晶铸锭过程中,炉腔内的压强和氩气的流程是随着时间变化的,而非恒定值;因此,本发明具有提高铸锭的良品率、切片的良品率、提高硅片的品质的优点。 | ||
搜索关键词: | 氩气 多晶铸锭 挥发 炉腔 气氛条件 良品率 出炉 熔化 压强 降压过程 非恒定 硅熔液 硅片 切片 铸锭 抽出 | ||
【主权项】:
1.一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法,其特征在于:所述方法是熔化和长晶过程中炉腔内的压力,随着时间不短变化;当炉腔内的压力降低时,硅熔液中的杂质,灰分更容易挥发出来,随着下一轮的降压过程,即大量气体抽出炉外的过程,气氛中的杂质和挥发由氩气迅速带出炉腔,实现杂质,灰分更容易挥发出来,并被氩气带出炉腔。
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