[发明专利]一种感光性聚合物及其制备方法和用途在审
| 申请号： | 201810558655.9 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN110554565A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 邓海;杨振宇;张妍 | 申请（专利权）人： | 珠海雅天科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/42;C08F220/18;C08F220/38 |
| 代理公司： | 31266 上海一平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陆凤;华珊 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新区环岛东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种感光性聚合物及其制备方法和用途。具体地，本发明公开了一种感光性聚合物、含所述感光性聚合物的感光性树脂组合物，所述感光性树脂在化学放大型光刻胶，特别是浸没式光刻胶中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性聚合物 感光性树脂组合物 化学放大型光刻胶 感光性树脂 浸没式光刻 制备 应用 | ||
【主权项】：
1.一种感光性聚合物，其特征在于，所述感光性聚合物包含下述结构单元：/n(a1)：具有通过酸水解而产生羧基或其他酸性基团的结构单元；/n(a2)：具有鎓盐基团的结构单元；/n(a3)：具有环状基团的结构单元；/n其中，相对于构成所述感光性聚合物的所有结构单元，所述结构单元(a2)的摩尔比例为1％～80％，所述结构单元(a3)的摩尔比例为20％～99％。/n
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