[发明专利]阴影框有效
申请号: | 201810561044.X | 申请日: | 2018-06-04 |
公开(公告)号: | CN108728814B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 张文鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/04 | 分类号: | C23C16/04 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种阴影框,用于在对基板表面沉积薄膜时,遮挡基板边缘不需要沉积材料的区域;阴影框包括:主框体,包括多个依次首尾对接的框条;遮蔽框,包括多个依次首尾对接的条形陶瓷片,条形陶瓷片设置于相应的框条表面;L型薄片,设置于条形陶瓷片表面,用于覆盖相邻框条连接处产生的缝隙;其中,L型薄片通过螺丝固定于条形陶瓷片表面,且螺丝配合设置有紧固件,以加固对L型薄片的固定;有益效果为:本发明提供的阴影框,对用于固定L型薄片的螺丝进行了加固处理,加强了对L型薄片的固定,解决了L型薄片因固定不牢而偏移导致的沉积材料的遮挡效果不理想,影响基板沉积膜层的品质的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 阴影 | ||
【主权项】:
1.一种阴影框,用于在对基板表面沉积薄膜时,遮挡所述基板边缘不需要沉积材料的区域;其特征在于,所述阴影框包括:主框体,包括多个依次首尾对接的框条;遮蔽框,包括多个依次首尾对接的条形陶瓷片,所述条形陶瓷片设置于相应的所述框条表面;L型薄片,设置于所述条形陶瓷片表面,用于覆盖相邻所述条形陶瓷片连接处产生的缝隙;其中,所述L型薄片通过螺丝固定于所述条形陶瓷片表面,且所述螺丝配合设置有紧固件,以加固对所述L型薄片的固定。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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