[发明专利]阴影框有效

专利信息
申请号: 201810561044.X 申请日: 2018-06-04
公开(公告)号: CN108728814B 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 张文鹏 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: C23C16/04 分类号: C23C16/04
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种阴影框,用于在对基板表面沉积薄膜时,遮挡基板边缘不需要沉积材料的区域;阴影框包括:主框体,包括多个依次首尾对接的框条;遮蔽框,包括多个依次首尾对接的条形陶瓷片,条形陶瓷片设置于相应的框条表面;L型薄片,设置于条形陶瓷片表面,用于覆盖相邻框条连接处产生的缝隙;其中,L型薄片通过螺丝固定于条形陶瓷片表面,且螺丝配合设置有紧固件,以加固对L型薄片的固定;有益效果为:本发明提供的阴影框,对用于固定L型薄片的螺丝进行了加固处理,加强了对L型薄片的固定,解决了L型薄片因固定不牢而偏移导致的沉积材料的遮挡效果不理想,影响基板沉积膜层的品质的技术问题。
搜索关键词: 阴影
【主权项】:
1.一种阴影框,用于在对基板表面沉积薄膜时,遮挡所述基板边缘不需要沉积材料的区域;其特征在于,所述阴影框包括:主框体,包括多个依次首尾对接的框条;遮蔽框,包括多个依次首尾对接的条形陶瓷片,所述条形陶瓷片设置于相应的所述框条表面;L型薄片,设置于所述条形陶瓷片表面,用于覆盖相邻所述条形陶瓷片连接处产生的缝隙;其中,所述L型薄片通过螺丝固定于所述条形陶瓷片表面,且所述螺丝配合设置有紧固件,以加固对所述L型薄片的固定。
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