[发明专利]适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液有效
| 申请号： | 201810561828.2 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108997940B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张泽芳;彭诗月 | 申请（专利权）人： | 上海映智研磨材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B29/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 张新鑫;许亦琳 |
| 地址： | 201799 上海市青浦区青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石衬底抛光的氧化铝基的化学机械抛光液及其用途，所述化学机械抛光液至少包括以下重量份的组分：氧化铝抛光颗粒：35～55份；氧化剂：5～12份；优选为7~10份；速率促进剂0.1～10份；分散剂2～5份；优选为3~4份；pH调节剂适量，水适量。从机械角度和化学角度提高了抛光液的抛光速率，此外，氧化铝分散性好，降低了表面缺陷如划痕等的发生率，提高了表面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 蓝宝石 抛光 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光液，其特征在于，所述化学机械抛光液至少包括以下重量份的组分：氧化铝抛光颗粒：35～55份；氧化剂：5～12份；速率促进剂：0.1～10份；分散剂：2～5份；pH调节剂适量；水适量。
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