[发明专利]一种电子/离子致解吸产额一体化测试装置及方法在审
| 申请号： | 201810564960.9 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108760566A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王洁;王盛;高勇;王锦东 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;西安核理科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子/离子致解吸产额一体化测试装置及方法，包括标准真空室、真空测试腔体、电子源/离子源、离子泵、粗抽泵、第二涡轮分子泵、第一涡轮分子泵、高纯度标准气体输入管道、压强测试系统、膜片式真空计、温度传感器、制冷系统以及加热盘；第二涡轮分子泵及高纯度标准气体源输入管道与标准真空室的入口相连通，标准真空室的出口与真空测试腔体相连通，真空测试腔体内设置有用于放置样品的样品支架，电子源/离子源正对放置于样品支架上的样品，离子泵、粗抽泵及第一涡轮分子泵均与真空测试腔体相连通，该装置及方法能够实现电子致解吸产额和离子致解吸产额的测试，并且测试温区范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮分子泵 真空测试腔 解吸 标准真空 离子 一体化测试装置 标准气体 输入管道 样品支架 电子源 高纯度 离子泵 离子源 粗抽 温度传感器 测试 压强测试 制冷系统 加热盘 膜片式 真空计 温区 正对 体内 出口 | ||
【主权项】：
1.一种电子/离子致解吸产额一体化测试装置，其特征在于，包括标准真空室(21)、真空测试腔体(4)、电子源/离子源(2)、离子泵(10)、粗抽泵(14)、第二涡轮分子泵(6)、第一涡轮分子泵(3)、高纯度标准气体源(7)、用于检测真空测试腔体(4)内压强的压强测试系统、用于检测标准真空室(21)内真空度的膜片式真空计(19)、用于检测样品(17)温度的低温温度传感器(20)及高温常温温度传感器(23)、用于对样品(17)进行加热的加热盘(22)及加热控制系统(24)以及用于对样品(17)进行冷却的制冷系统(25)；高纯度标准气体源(7)及第二涡轮分子泵(6)与标准真空室(21)的入口相连通，标准真空室(21)的出口与真空测试腔体(4)相连通，真空测试腔体(4)内设置有用于放置样品(17)的样品支架(18)，电子源/离子源(2)正对放置于样品支架(18)上的样品(17)，离子泵(10)、粗抽泵(14)及第一涡轮分子泵(3)均与真空测试腔体(4)相连通。
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