[发明专利]一种小型面积可调等离子体源

摘要

本发明公开了一种小型面积可调等离子体源，包括放电腔体，所述放电腔体上端面通过阴极密封盖密封，放电腔体的腔体壁上开有抽气孔，抽气孔中安装抽气组件，放电腔体底部连接副励磁线圈组支撑座，放电腔体的内底面上固定阳极板，所述阴极密封盖顶面设置凹槽并在凹槽中设置盘形加热丝，阴极密封盖底面固定阴极板，所述放电腔体上部外侧面固定主励磁线圈，副励磁线圈组支撑座上固定若干个尺寸不同的副励磁线圈。本发明通过手工抽气方式在放电腔体内部形成真空环境，进而通过加热电源加热阴极以发射电子，在阴极板和阳极板之间连接放电电源形成放电，等离子体面积的调节是通过选择不同尺寸的副励磁线圈来形成不同的磁场构型，进而控制等离子体面积。

主权项

1.一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：包括放电腔体(1)，所述放电腔体上端面通过阴极密封盖(2)密封，放电腔体的腔体壁(1‑1)上开有抽气孔(1‑4)，抽气孔中安装抽气组件(8)，放电腔体底部连接副励磁线圈组支撑座(12)，放电腔体的内底面上固定阳极板(15)，所述阴极密封盖顶面设置凹槽并在凹槽中设置盘形加热丝(4)，阴极密封盖底面固定阴极板(2‑3)，所述放电腔体上部外侧面固定主励磁线圈(5)，副励磁线圈组支撑座上固定若干个尺寸不同的副励磁线圈。