[发明专利]一种适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源有效
| 申请号： | 201810565552.5 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN109030518B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王洁;王盛;高勇;王锦东 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;西安核理科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00;H01J3/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，包括陶瓷连接管、真空室、阴极丝、陶瓷绝缘柱、电极及耐高压绝缘电极；陶瓷连接管的一端与真空室的侧面相连通，陶瓷连接管的另一端设置有密封法兰，密封法兰的侧面设置有用于放置样品的样品架；阴极丝及陶瓷绝缘柱位于真空室内，阴极丝的上端插入于陶瓷绝缘柱内，而后与电极的下端相连接，阴极丝正对所述样品；真空室内壁上施加有‑30～‑40V的偏压，样品架上施加有50～5000eV的偏压，该电子源能够替代电子枪实现电子致解吸产额的测试，并且结构简单，成本低，阴极丝更换较为方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 电子 解吸 测试 装置 替代 | ||
【主权项】：
1.一种适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，其特征在于，包括陶瓷连接管(4)、真空室(7)、阴极丝(3)、陶瓷绝缘柱(2)、电极(1)及耐高压绝缘电极；陶瓷连接管(4)的一端与真空室(7)的侧面相连通，陶瓷连接管(4)的另一端设置有密封法兰(6)，密封法兰(6)的侧面设置有用于放置样品(5)的样品架，且样品架与密封法兰(6)之间设置有耐高压绝缘电极，通过耐高压绝缘电极对样品架施加偏压；阴极丝(3)及陶瓷绝缘柱(2)位于真空室(7)内，阴极丝(3)的上端插入于陶瓷绝缘柱(2)内，阴极丝(3)经过陶瓷绝缘柱(2)与电极(1)的下端相连接，阴极丝(3)正对所述样品(5)；真空室(7)的内壁上施加有‑30～‑40V的偏压，样品架上施加有50～5000eV的偏压。
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