[发明专利]一种前端数字化的MEMS微镜高压静电传感器

摘要

本发明公开了一种前端数字化的MEMS微镜高压静电传感器，金属悬臂的一端固定于固定框架的内，金属悬臂的另一端悬空，封盖、固定框架、基座及PCB电路板自上到下依次固定，基座上设置有导电柱，待测高压导体通过PCB电路板与导电柱电连接，金属悬臂的上表面设置有反光阵列，反光阵列位于导电柱的正上方，封盖上设置有光纤探头，光纤探头位于所述反光阵列的正上方，光纤探头通过光纤与光发射/接收器相连接；反光阵列由若干第一反光条及若干第二反光条组成，其中，第一反光条的发射率大于第二发光条的反射率，且各第一反光条与各第二反光条依次交错分布，该传感器能够直接对高压导体上的静电电压进行检测，并且输出信号为数字信号。

主权项

1.一种前端数字化的MEMS微镜高压静电传感器，其特征在于，包括PCB电路板(1)、MEMS微镜(2)、光纤(3)及光发射/接收器(4)；其中，MEMS微镜(2)包括基座(21)、微镜(22)及封盖(23)，其中，微镜(22)包括固定框架及金属悬臂，金属悬臂的一端固定于固定框架的内，金属悬臂的另一端悬空，封盖(23)、固定框架、基座(21)及PCB电路板(1)自上到下依次固定，基座(21)上设置有导电柱(211)，待测高压导体通过PCB电路板(1)与导电柱(211)电连接，金属悬臂的上表面设置有反光阵列(223)，反光阵列(223)位于导电柱(211)的正上方，封盖(23)上设置有光纤探头(231)，光纤探头(231)位于所述反光阵列(223)的正上方，光纤探头(231)通过光纤(3)与光发射/接收器(4)相连接；反光阵列(223)由若干第一反光条及若干第二反光条组成，其中，第一反光条的发射率大于第二发光条的反射率，且各第一反光条与各第二反光条依次交错分布。